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会议结束,周文渊和其他人离开,只剩下了韩靖和童淮两人。
看著这个师弟,童淮语气里满是急切又带著一丝期许:“师弟,你真有把握解决kl-02在28nm工艺下的沟道掺杂浓度偏移难题?
“那可是导师和整个团队耗了小半年都没解决的难题,三天时间也太短了!”
“你这次真的衝动了!”
韩靖笑了下,淡定的开口道:“师兄,你什么时候见我说过大话?”
说著,他转头看向童淮,眼神里没有了会议室里的锋芒,多了几分沉稳。
“师兄,我们没有退路,要么拿下这个难题,保住kl-02项目,要么看著导师的心血付诸东流,我们也没法顺利毕业。”
“而且,我不是凭空吹牛,我真的有把握解决这个难题!”
闻言,童淮倒是下意识的回想了一下。
確实,他这位师弟並不是那种喜欢吹牛,做事不顾一切后果的人。
相反,在导师陈维德教授的几个学生中,韩靖才是最耐住性子最稳妥的那一个。
看著韩靖坚定的眼神,童淮重重点头:“好!我信你!实验需要帮忙吗?我这段时间也一直在跟进kl-02的工艺部分,多少能搭把手。”
韩靖:“当然!”
停顿了一下,他站起身,接著道:“但在进行实验之前,我们还有另一件更重要的事情需要做。”
闻言,童淮有些好奇的问道:“怎么了?”
韩靖:“我需要向周主任,向学校申请一间独立於kl-02微型晶片项目之外的其他实验室,以及相关的器材设备和材料!”
听到这话,童淮下意识的开口道:“研究中心这边不是有完整的实验室吗?可以直接用啊,为啥要申请新的实验室和器材设备?”
韩靖笑了下,道:“听我的就行。”
.....
確认好接下来要做什么后,两人直奔微处理器研发中心周文渊主任的办公室。
听到韩靖申请一间独立於kl-02微型晶片项目之外的实验室,以及相关器材设备和材料的来意后,周文渊饶有深意地看了他一眼。
这小傢伙,心思倒是挺深的。
不过也好,这样也算是有备无患。
周文渊同意了韩靖的请求,从抽屉中取出一把实验室的备用钥匙递给了他,然后笑著开口道。
“这是四號实验室的钥匙,目前没人使用,这三天的时间就先归你,里面的设备器材都有。”
“至於材料,你写个申请上来,我给你批条子,你找后勤老师去拿就行。”
从桌上接过四號实验室的钥匙,韩靖微微鞠了一躬,道:“谢谢周主任。”
很显然,周文渊看出了他想做什么,也支持他这么做。
倒也好,省去了他解释的麻烦。
......
花了一上午的时间,將实验室、器材设备与实验需要的相关材料申请下来后,韩靖和童淮拿著钥匙来到了四號实验室。
有些意外的是,kl-02项目中,负责晶片掺杂工艺的研究员李暉正站在门口等著他们。
“李哥,你怎么在这。”
看到李暉,韩靖笑著打了个招呼。
和赵知许不同的是,李暉身上有著传统理工科学者的气质,相对沉默寡言,对实验与研究固执,爭论靠数据,最高评价是符合逻辑、可行等等词汇。
两人之间的关係也走得更加的亲近一些。
李暉也没有犹豫,径直开口道:“关於你在上午会议室中所说的解决kl-02在28nm工艺下的沟道掺杂浓度偏移难题的方案研究,我想参与!”
闻言,韩靖有些讶异地开口道:“解决方案我不是都已经在会议上说了,你可以直接在实验室里面做啊。”
“啊?”
李暉愣了一下,摸了摸脑袋开口道:“这是你提出来的解决方案,我怎么能做实验呢,这不太好吧。”
在他看来,这是韩靖的解决方案,而且还在会议室上那么详细的讲解了,说明这已经是属於他的智慧財產权了。
他不问自取,这算是盗窃別人的东西。
韩靖也愣了一下,旋即笑著道:“所以你就在这里等著?”
李暉点了点头,道:“嗯,你不是和校领导那边立下了三天的军令状吗?”
“这三天肯定要做实验的,所以我就问了问周主任,然后来这边想问问你还缺不缺人,我可以参与。”
闻言,韩靖笑著点点头,道:“行,那李哥你来吧,多一个人,我们也多一份把握。”
说著,他取出钥匙打开了四號实验室的大门,接著补充道:“我们先整理实验器材,核对所有设备参数、材料等东西,下午就开始动手。”
“ok!”
“没问题。”
....
不到一个小时,准备工作就基本就绪。李暉拿著韩靖標註的参数清单,反覆看了几遍,眉头渐渐皱了起来,脸上露出了疑惑的神色。
他犹豫了片刻,还是拿著清单快步走到韩靖身边,语气带著几分不確定地询问道。
“韩靖,你这参数设置,是不是有点问题?”
韩靖正低头调试笔记本电脑上的实验数据,闻言抬起头:“怎么了,李哥?哪里有问题?”
李暉指著清单上的一行字,语气凝重:“你看,这个pai环节的离子注入剂量,是不是太高了?”
“按照常规工艺,这个剂量已经超出了安全范围,离子注入太多,会严重损伤晶圆表面的晶格结构。”
“到时候別说解决掺杂浓度偏移的问题,连晶片基底都会被损坏,前期的所有努力就都白费了。”
一旁,童淮听到这话,也凑了过来,看著清单上的参数,脸色也微微一变。
“是啊,师弟,李哥说得对,这个剂量確实太高了,导师之前也试过类似的剂量,最后晶圆直接报废了。”
听到这话,韩靖却丝毫不慌,接过参数清单,指著重难点,耐心解释道:“放心吧,这个剂量看似偏高,但其实是合理的。”
“我们会先引入氮化界面层,这种界面层能有效抑制硼穿透效应,刚好可以抵消高剂量离子注入带来的损伤。”
“这不仅不会损坏晶圆基底,还能精准控制掺杂深度,让沟道掺杂浓度达到平衡——这也是解决这个难题的核心关键。”
停顿了一下,他补充了一句,算是给出了个解释。
“导师以前的失败,理论上来说就是因为没有提前控制这些变量而导致的。”
“而这份方案也是在以前的实验数据上做出来的优化的,不会错的!”
.....